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专利摘要显示,本发明公开了一种超高合金不锈齿轮轴承钢的真空渗碳方法,属于金属热处理领域,包括以下步骤:步骤S1、合金元素固溶:将超高合金不锈齿轮轴承钢放入真空渗碳炉,在氮气保护下随炉升温至1100℃~1120℃保温一段时间进行固溶处理;步骤S2、降温渗碳:固溶处理后,合金元素充分溶解在奥氏体中,然后将炉温降低至950℃~980℃再开始渗碳模式;步骤S3、渗碳介质成分调整:将常规的纯乙炔渗碳介质调整为氮气‑乙炔混合气体,稀释渗碳介质中乙炔的含量,混合气体的氮气/乙炔≥5;步骤S4、弱饱和渗碳:持续向炉内通入流量为1250~1500L/h的氮气‑乙炔混合气体进行弱饱和渗碳;步骤S5、终扩散:弱饱和渗碳结束后,改通纯氮气进行终扩散,将碳浓度扩散至技术要求范围内,弱饱和渗碳时间/终扩散时间≥1.5。本发明彻底解决了超高合金不锈齿轮轴承钢渗碳后碳化物粗大和表面开裂的现象,也解决了因为传统的过饱和渗碳法扩散时间极长,造成奥氏体中极度贫碳,严重影响渗碳速度的问题。